ปั๊มพร้อมระบบช่วยสุญญากาศ

ปั๊มดรายไพรม์พร้อมระบบช่วยสุญญากาศ (หรือเรียกอีกอย่างว่าปั๊มกลแห้ง) หมายถึงปั๊มสามารถเริ่มปั๊มได้ภายใต้ความดันบรรยากาศ และสามารถสูบเข้าสู่บรรยากาศได้โดยตรงไปยังห้องปั๊มโดยไม่ต้องใช้น้ำมันหรือสื่อการทำงานอื่น ๆ และปั๊ม แรงดันและปั๊มสุญญากาศซีลน้ำมันเทียบเท่าหรือใกล้เคียงกับปั๊มสุญญากาศเชิงกล การใช้งานปั๊มสุญญากาศแบบแห้งนั้นกว้างขวาง โดยหลักๆ ในด้านต่อไปนี้: 1) ในกระบวนการเตรียมโพลีซิลิคอนในการสะสมไอสารเคมีความดันต่ำ 2) กระบวนการแกะสลักเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซที่มีฤทธิ์กัดกร่อนและอนุภาคที่มีฤทธิ์กัดกร่อนมักถูกใช้หรือสร้างขึ้นในกระบวนการผลิตเหล่านี้ 3) นอกเหนือจากกระบวนการบางอย่างที่ผลิตอนุภาคอื่นนอกเหนือจากกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์แล้ว อนุภาคต่างๆ ก็ไม่คาดว่าจะถูกผสมลงในน้ำมันปั๊ม และหวังว่าอนุภาคจะถูกระบายออกจากปั๊ม จากนั้นจึงเกิดสุญญากาศเชิงกลแบบแห้งบางประเภท ปั๊มสามารถตอบสนองความต้องการ 4) ในอุตสาหกรรมเคมี อุตสาหกรรมยา อุตสาหกรรมอาหารในการกลั่น การอบแห้ง การเลิกฟอง บรรจุภัณฑ์ ฯลฯ เพื่อป้องกันมลพิษที่เกิดจากตัวทำละลายอินทรีย์ เหมาะสำหรับปั๊มสุญญากาศแบบแห้ง 5) ใช้เป็นปั๊มด้านหน้าของระบบสูญญากาศทำความสะอาดไร้น้ำมันทั่วไปเพื่อป้องกันมลพิษจากน้ำมัน